Elektronový mikroskop Carl Zeiss ULTRA Plus

In-Lens SE detektor pro max. rozlišení

In-Lens EsB detektor pro snímání BSE dle energie

Kompletní mikroanalytická sestava EDS + WDS + EBSD (OXFORD)

Charge-compensator pro analýzy nevodivých vzorků bez nutnosti úpravy povrchu

Možnost 3D zobrazení pomocí 4-kvadrantového AsB detektoru

Rozlišení: 1nm @ 15 kV; 1,6 nm @ 1 kV

Zvětšení: 12–1 000 000x v SE módu

Urychlovací napětí: 0,02 – 30 kV